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MODEL 9010

Scanning TPC 扫描型液体中纳米粒子计数器

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通过拥有自身专利的优质雾化器和先进技术能力的凝聚核粒子计数器
（CPC），实现了崭新瞩目的最小可测量粒径为10纳米

・拥有自身专利的独特雾化器和高技术能力的凝聚核粒子计数器(CPC)。

・可在10～20 nm范围内，以每5 nm为间隔设定测量粒径下限(*)。

・具备不受颗粒折射率和形状影响的响应性。

・是SEMI指南中的推荐测量方法的认证测量器。

・不受测量场地限制，随身携带去现场的小尺寸。

・坚固耐用，只需少量维护。

(*)例如，选择通道10nm 时，可以测量10nm 以上的粒径。（上限约100nm）

ScaningTPC在超纯水纳米级污染检测领域中，是一种完全崭新的液体粒子计数器。在微颗粒测量行业中，最小可测粒径极限是20nm（0.02μm）。与通用的激光照射产生的散射光测量原理相比，ScaningTPC通过完全不同的新的技术，实现了全球独家首创的最小可测粒径为10nm（0.01μm）。本技术通过自身专利的独特雾化器对超纯水样品进行高精度喷雾，同时组合凝聚核粒子计数器（CPC）。从而诞生了KANOMAX FMT Inc.和CT Associates公司联合开发的该成果。通过改变CPC内的粒径（10nm以上，15nm以上，20nm以上），可以计数各种粒径的颗粒。不同于传统光散射测试法，本产品的测试可以不受颗粒折射率和形状的影响，而且小尺寸可以随身携带，坚固耐用导致维护成本小。

图1 原理示意图

图2 内部结果示意图

图3 径选择和累积粒子计

通过改变凝聚粒子计数器（CPC）的最小检测灵敏度，获得所需测量粒径档以上的粒子浓度。

图4 时间序列的数据变化（24 小时）

使用胶体二氧化硅（欧洲标准追溯性物质）颗粒进行校准

产品详情

名称	扫描型液体中纳米粒子计数器STPC
型号	9010
测量方法	自身专利的雾化器和凝聚核粒子计数器（CPC）的组合测量
测量粒径	10到20n m之间以5n m间隔设置（10n m以上，15n m以上，20n m以上）检测效率50％
通道调整时间	2到5分钟（更换粒径通道时所需的稳定时间）
测量范围	10 3～10 10个/ m L
检验容积率	1μL/ min～10μL/ min（样品引入的实测液量）
总流量	50～280 m L/ min
浓度变化响应时间	约30秒内（浓度变化的响应时间）
样品水压	200～500 k Pa（30～70 p sig）
压缩空气/氮气流量/压力	25 s td L /min C DA或氮气，345～414 k Pa（50～60 p si）
UPW非挥发性残留物最大量	粒径通道10n m时200ppt，20n m时1ppb
液体接触部	PFA，PTFE，PEEK，蓝宝石，316L不锈钢
CPC启动液	试剂特级正丁醇
CPC启动液消耗量	约150毫升/天（附带供应瓶约1周）
CPC的真空源	内置泵或外部真空源流量1L/min，绝对压力400 m bar
运行环境　　温度	15～35℃
湿度	0～85％不冷凝
样品水温	低于80°C
电源（雾化器）	100-240 VAC，50/60 Hz，最大90 W
电源（检测器）	100-240 VAC，50/60 Hz，最大210 W
输出	Modbus的RJ-45，USB闪存盘
内部存储设备	Micro S D
超纯水进口	1/4英寸（6.35 m m）PFA Flaretek®
排水口	1/2英寸（12.7 m m）SS S wagelok®
压缩空气入口	1/4英寸（6.35 m m）SS S wagelok®
检测真空器	1/4英寸（6.35 m m）SS S wagelok®端口
显示器	7英寸TFT彩色触摸屏（高87 m m×宽154 m m）
外部尺寸	420（宽）×430（深）×270（高）（430包括瓶子）m m
重量	16.1公斤

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